測量臺操作方式

手動

自動

測量行程

單位(mm)

170 × 110

300 × 280

移動量

X(mm)

70

80

Y(mm)

70

60

Z(mm)

80（測定物高zui大150）

50

測定物高（zui大）

80（150可選）

50

外形(mm)

600(W)×465(D)×730(H)

重量(kg)

79

85

測量臺載重(kg)

3

1

電源

AC200V±10V

X線源

油浸式小型微焦點Ｘ線管
管電圧50kV
管電流可変

照射方式

上面垂直照射方式

検出器

比例計數(shù)管

準直孔

5種類(自動切換式)
0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0φmm
(可選換如下準直孔)
：0.05×0.5,0.05φ

樣品觀察

CCD鏡頭

測定対象

原子番號22(Ti)～82(Pb)
原子番號21以下可應(yīng)用吸收法測量

濾波器

 (Co、Ni)自動切換

厚度測定范圍

原子番號22～24：0.2～約20μm
原子番號25～40：0.1～約30μm
原子番號41～51：0.2～約70μm
原子番號52～82：0.05～約10μm

検量線

検量線自動作成

測量功能

単層膜厚測定
2層膜厚測定
3層膜厚測定
合金膜厚成分比同時測定
無電解膜厚測定

測量模式

自動測量
X-Ray功率可選擇

自動測量臺功能

測定位置(X-Y-Z)
同一點重復(fù)測量功能
原點補正功能

測定位置確認功能
自動校正

數(shù)據(jù)処理機能

統(tǒng)計量表示：平均、標(biāo)準偏差、zui大、zui小、方差、Cp、Cpk
餅圖表示
柱狀圖表示
測定值立體圖表示
ｘ-R管理圖